반도체 물류 자동화 시스템(AMHS, Automated Material Handling System)은 반도체 공장(FAB)내에 설치되어 있는 수많은 공정을 거쳐 반도체가 생산되는 과정에서
공장내 설치되어 있는 공정장비(Equipment)와 공정장비, 공장내 설치되어 있는 공정장비와 저장공간, 그리고 반도체 공장과 반도체 공장 간의 물류(Wafer 저장 용기 – FOUP 및
SMIF-POD) 흐름을 적시에 최대화하여 반도체 생산성을 극대화할 수 있도록 하는 시스템입니다.
반도체 공장 자동화의 개념도
